Utvalg 316L Stainless Steel for Semiconductor Gas Filter By yaang.com etter Yane Yang

Den fortsatte økningen i halvledere enhet raffinement, og resulterende reduksjon i linjebredder, krever filterkomponenter i hele prosessen gassleveringssystemer. Riktig utformet høy renhet gassfilterkombinasjoner er gjennomsiktige for homogene bestanddeler i gass-strømmen, det vil si, for å fjerne partikkelforurensning med noen annen effekt på innløpsgassrenhet. For å oppnå dette målet, er menighetene som brukes til å huse filter enheter som oftest laget av glatt, ren og elektro. 316 rustfritt stål

"Smooth and clean" er et relativt begrep, som krever mer eksplisitt definisjon. Spesifikasjonskrav er etablert når ytelsesgrensene for filterkombinasjoner er klart forstått og målbare. For eksempel, blir bidraget fuktighet og overflateruhet rimelig godt definert. Imidlertid er disse kriterier basert på målinger begrenset av følsomheten av de beste tilgjengelige instrumentering. For å møte disse kriteriene, til de "beste" tilgjengelige råvarer fra som dikte komponenter er ofte angitt. Logikken i bare plukke det beste materialet følger bare hvis materialet til slutt møter de tiltenkte spesifikasjon krav og hvis filterenheten produsenten forstå hvilket materiale egenskaper. er styrende

Yaang evaluerer nøye alle råvarer som brukes til å dikte halvledere gass filterkombinasjoner. Det er mange viktige kjennetegn ved 316L rustfritt stål som må vurderes i utformingen av disse høye renhets forsamlinger. Skriver 316L rustfritt stål er et godt karakterisert og forstått legering. God korrosjonsbestandighet er et resultat av både forsiktig formulering av hovedlegerende elementer (Fe, Ni, Cr, Mn og Mo), så vel som styring av kritiske sporbestanddeler (C, S og Si). I likhet med andre ferdige komponenter, filtrer forsamlinger utnytte rustfritt stål som har blitt videre bearbeidet, dvs. valset, trukket, maskinert eller sveiset.

I disse tilfellene er det ikke tilstrekkelig å bare spesifisere materiale kjemi. Hver tiltenkte bruk av det rustfrie stålet kan medføre liten endring av den grunnleggende spesifikasjonen, men de mest vanlige spesifiserte krav som resulterer i en fin, elektro overflate er:

  • 316L balansert kjemi

  • homogen austenittisk. . mikro

  • svært få slutninger

  • fine korn struktur

    Materialer Comparison:.. Stainless Steel Bar

    HEAT ID #

    SPEC.- - »N /A

    SA47935439

    TypicalN /A

    VAR Spec.Typ.1ELEMENTAL(%):



    FeBAL.BAL.BAL.Cr16-1817.116-18Ni10-1412.010-14Mo2-32.12-3Mn2*1.7<2Si1.0*0.45≈0.5C0.03*0.020<0.03S0.03*0.0020≤0.005* = Maksimal

    tilleggsvilkårene

    kornstørrelse-5Blir Specified2INCLUSION TYPE plakater (ASTM E-45) -NUMBERNUMBERSulfides-0.52.03Alumina-003Silicates-02.53Oxides-1.51.53 1 316L VAR spesifiserer ikke (eller gi) kjemisk sammensetning som er av høyere ytelse enn SA479 med bemerket unntak av redusert svovel

    2. Typisk målte verdier var innenfor et vindu på 5-10.

    3 Ikke spesifisert. Typisk angitt.

    For å fjerne mikroskopiske tomrom i smelten, samt for ytterligere å rense metallet ved å redusere visse forurensende urenheter, mange høy renhet rustfritt stål gjennomgår en sekundær smelteprosessen (for eksempel vakuum-arc for omsmelting, kjent som VAR) . Denne prosessen reduserer sulfider, silikater, fosfater, aluminiumoksyder, og andre urenheter. Av disse forurensninger, er svovel mest skadelig for oppnåelse av fin overflate finishe (forutsatt at de andre urenheter som normalt er innen spesifiserte grenser).

    Disse sporforurensninger har en tendens til å forstyrre ("break") en stabil austenittisk struktur og form inneslutninger som er mindre edle enn grunnmetallet. Når slutninger er sjeldne og svært liten i størrelse, kan dette ikke være et problem. Men når det er veldig fine flater (< 10 mikrocm Ra) er ønsket, alle slutninger bli klart etter endelig mekanisk polering eller elektropolering. Det er av denne grunn at 100X mikroskopisk inspeksjon etter fint mekanisk polering blir ofte brukt for å kvantifisere innholdet inkludering. Electropolishing fremhever ofte defekter i overflaten ved å fjerne de mindre edle slutninger først, via fortrinnsrett oppløsning.

    Kornstrukturen må også vurderes når du velger høy renhet rustfritt stål. Finkornede materialer er foretrukket fordi de har en tendens til å være mer homogen. Som korn vokse (f.eks under langsom avkjøling), er det mer tid for austenitt breakers å felle ut ved korngrensene. Dette har effekten av å transformere en ren forvridning av strukturen ("sunn" korngrense) til et område for inneslutninger. I tillegg, finkornede materialer lede elektrisk strøm mer ensartet. Uniform ledningsevne er en viktig egenskap i Electropolishing prosessen

    . Kilde: Zhejiang Yaang Pipe Industry Co., Ltd (www.yaang.com)